低温等离子体分解油雾、废气等污染介质时，等离子体中的高能离子起决定性作用。流星雨状的高能等离子与介质发生非弹性碰撞，将能量转化成基态介是质的内能，发生激发、离解、电离等一系列过程是污染介质处于活化状态。污染介质在等离子体的作用下，产生活性自由基，活化后的污染分子经过等离子体定向链化反应后被脱离。当离子平均能量超过污染介质中化学链结合能时，分子链断裂，污染介质分解，并在等离子发生器吸附场的作用下被收集。在低温等离子体中，可能由污染介质成分决定发生的各类化学反应，这主要取决于等离子的平均能量、离子密度、气体温度、污染物介质浓度及共存的介质成分。

适用于处理：氨、三甲胺、硫化氢、甲硫氢、甲硫醚、甲硫醇、二甲二流、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S/VOC类、苯、甲苯、二甲苯 分解化合物：低分子化合物、二氧化炭、H2O等气体。